burkert寶德8741型熱式氣體質量流量控制器20000234深度解析

burkert寶德8741型熱式氣體質量流量控制器20000234深度解析

8741型熱式氣體質量流量控制器*50nl/min95%Ar+5%H2,標定壓力4bar,鋁基座,G1/4寸,PROFINET

控制器| 95% Ar + 5% H2 | 5000nl /min | 24v DC |內螺紋- G1/4" | PROFINET

熱式氣體質量流量控制器是一種基于熱傳導原理，通過測量氣體流動時帶走熱量的變化來精確控制氣體流量的設備。其核心優勢在于不受溫度、壓力變化影響，可直接測量質量流量，廣泛應用于半導體、新能源、環保、科研、醫療及航空航天等領域。以下是其技術原理、行業應用及選型要點的詳細解析：

技術原理與核心優勢

工作原理

熱式傳感器：內置加熱元件和測溫元件，當氣體流動時，加熱元件的熱量被氣體帶走，測溫元件檢測溫度變化（ΔT）。

流量計算：通過ΔT與氣體質量流量的線性關系，結合PID控制算法，實時調節閥門開度，實現流量閉環控制。

技術優勢

高精度：誤差通常≤±1% F.S.，重復性達±0.2% F.S.。

寬量程比：支持1:50至1:100的流量范圍。

快速響應：響應時間＜300 ms，適用于動態調節場景。

環境適應性強：不受溫度、壓力波動影響，適合復雜工況。

行業應用與典型案例

半導體制造

應用場景：晶圓清洗、氣相沉積（CVD）、刻蝕工藝中的氣體輸送控制。

案例：在CVD工藝中，TMFC精確控制硅烷（SiH?）流量，確保薄膜均勻性，良率提升15%。

新能源

氫能系統：燃料電池中氫氣流量控制，確保反應效率與安全。

光伏設備：監測冷卻氣體流量，優化電池生產效率。

科研實驗

實驗室應用：催化劑評價、氣相色譜載氣控制、細胞培養氣體配比。

案例：在合成新化合物實驗中，TMFC穩定控制反應氣體流量，數據可靠性提升90%。

選型關鍵參數

流量范圍：根據工藝需求選擇量程。

精度與重復性：科研/半導體領域優先選±0.5% F.S.精度。

響應時間：動態調節場景需＜100 ms。

材料兼容性：腐蝕性氣體需選耐腐材質。

通信接口：工業場景推薦CANopen/PROFIBUS DP，實驗室可選模擬信號。

認證標準：醫療設備需FDA認證，航空航天需FAA/CAAC認證。

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